造光刻机到底有多大难度,我国的光刻机现在发展到了什么程度关键部件什么时候可以国产化

中国光刻机距离世界先进水平,还有较大的差距造光刻机到底有多大难度。

第一,目前全球最先进的光刻机,已经实现5nm的目标。这是荷兰ASML实现的。

而ASML也不是自己一家就能够完成,而是国际合作才能实现的。其中,制造光源的设备来自美国公司;镜片,则是来源于德国的蔡司公司等。这也是全球技术的综合作用。

第二,中国进口最先进的光刻机,是7nm。

2018年,中芯国际向荷兰ASML公司定制了一台7nm工艺的EUV光刻机,当时预交了1.2亿美元的定金。请注意,当时这台机器还没有交付,而是下订单。

但国内市场上,其实已经有7nm光刻机。在2018年12月,SK海力士无锡工厂进口了中国首台7nm光刻机。海力士也是ASML的股东之一。

第三,目前国产最先进的光刻机,应该是22nm。

根据媒体报道,在2018年11月29日,国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米。

请注意该报道的标题:“重大突破,国产22纳米光刻机通过验收。”

也就是22nm的光刻机,已经是重大突破。

22nm的光刻机,关键部件已经基本上实现了国产化。“中科院光电所此次通过验收的表面等离子体超分辨光刻装备,打破了传统路线格局,形成一条全新的纳米光学光刻技术路线,具有完全自主知识产权。”

有关报道中的“全新的技术”,也就是中国科研工作者在关键部件完全国产化情况下,实现的这一次技术突破。

光刻机是一种十分特殊的大型设备,在这个领域,属于荷兰的ASML一家独大,日本的尼康、佳能虽然价格便宜,但是远逊ASML ,而我国,在很早之前就开始研发光刻机,也已经推出了比较成熟的产品,但是一般用于粗放型的半导体产业上面,跟尼康、佳能比还有差距,跟ASML的差距,更是短期内无法弥补的。

造光刻机到底有多大难度,我国的光刻机现在发展到了什么程度关键部件什么时候可以国产化

而芯片产业呢,更是我们现在大力发展的产业,原因也没有别的,因为它太重要了,基本上大部分的电子产品、汽车上面都要用到各种芯片,而我国现在80%以上的芯片都要进口,每年我们大概要花三千亿美元进口芯片,是进口贸易中最大的一单,比石油进口的金额还要大。特别是高端芯片,基本全部依靠进口。之前中兴事件闹得很凶,就是美国在卡我们芯片。实际上,如果外国如果要在芯片上卡住我们,我们短期内还真没有办法。我们现在的优势是市场巨大,需求巨大,外国企业即便有政府压力,也不敢轻易放弃我们这么巨大的市场。要制造,研发制造芯片都是很费钱的,如果市场萎靡,那么芯片企业很有可能就要亏损,我国的芯片市场如果被屏蔽,那么全世界的芯片企业恐怕日子都会很难过。

虽然由于市场的原因,一般的企业不会不出口芯片给我们,但是如此巨大的一块市场,一直把控在外国人手里,始终不是长久之计,因此我们现在大力发展芯片产业。

但是,芯片产业要想全面发展,真的是很困难的,这不是一件简单砸钱就能完成的事,需要大量的研发技术,众多产业链的配合,还要大量的时间积累,绝不是一朝一夕的事情。就拿芯片制造这事来说吧,抛开封装,单单就说在晶元上制造出我们想要的芯片,就需要五个步骤,分别是photo、etch、thin film、diff、c&c,汉语来说就是光刻、刻蚀、薄膜、扩散、清洗五个大步骤,而且这五个步骤不是说一遍就完事,每个步骤里又细分好多小步骤,每个步骤都会还会有不断的反复。从第一步开始,到最后一步结束,外行人看到的是一个亮闪闪的晶元硅片进去,又一个亮闪闪的晶元硅片出来,实际上,这个晶元硅片已经在各种机器里面进行了各种复杂的物理化学反应,集成了无数的电子元件,这样小小一片硅片才拥有了记忆存储信息,运行指令的功能。这才有了我们用的手机电脑,实现各种功能。这个过程有多复杂,大家可以想象一下。

芯片制造工艺是十分重要的一环,这个环节要比设计还要难,因为需要配合的东西太多了。首先说上面五个步骤就需要大量的设备,大型光刻机,ASML的设备这个近几年大家经常听到过,除此之外,还有很多有名的半导体设备公司,比如应用材料、日立、东京电子、LAM等等,提供其他设备,虽然不像ASML光刻机那样动辄就几亿一台,但是几千万一台是很常见的。别的不说,就说自动化生产运输晶元到不同机台的小车,一台就可以买一辆宝马车。硬件是一方面,软件也是另一方面,现在都是自动化生产,需要大量的软件对整个生产过程进行控制,那些软件都是十分昂贵的,有的一个系统就要几亿。设备搭配好了,一个个都那么昂贵,那么原材料也一定要净度超高的才可行,除了晶元之外,还有大量在生产制造过程中用到的气体液体,而这些,一般都是由日本公司提供的。三星已经是芯片领域的佼佼者了,日本说要停止对他们的原材料供应,立马就抓瞎了,可以看出来,原材料也是十分重要的。

现在,我们做的比较厉害的,应该是华为的手机芯片设计这一块,但是在生产制造,原材料,设备等各个方面,跟几个芯片强国差距还是蛮大的。抛开设备公司不谈,就说芯片这一块,美国有英特尔、高通,韩国有三星、海力士,而我们大陆这边最强的也就是中芯国际,但是跟这些企业比还是差距蛮大的。如果放眼整个国家,台积电的芯片制造技术是首屈一指的,是可以跟三星、英特尔并驾齐驱的存在,虽然它只是个代工厂,但是芯片行业的代工厂不是其他行业的代工厂,代工的制造技术绝对也是领先的。如果什么时候大陆能够有一家跟台积电比肩的芯片企业,那么那个时候我们就可以称作是芯片强国了。

而如果说要实现半导体行业全面的强大,那么我们要在芯片设计、制造还有半导体设备和原材料方面的全面发展,形成完整产业链,这样才会彻底摆脱芯片受制于人的局面。要实现这些,任重而道远啊。

2022-06-10

2022-06-10